論文類別:專家論文
作 者:佚名
所在地區(qū):多晶硅生產(chǎn)節(jié)能降耗研究
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摘 要:
3.5優(yōu)化尾氣干法回收工藝
尾氣干法回收工藝是通過(guò)一系列冷卻、加壓、吸附技術(shù)對(duì)尾氣中的氣體進(jìn)行分離并根據(jù)生產(chǎn)工序?qū)に囄锪系男枰M(jìn)行重復(fù)使用。充分回收還原尾氣中的氫氣、氯化氫和氯硅烷。它是實(shí)現(xiàn)多晶硅閉環(huán)生產(chǎn)中重要的一環(huán)。充分回收利用尾氣中的各種工藝氣體,廢氣的利用率得到了提高,在降低回收能耗的同時(shí)提高各組的回收效率,達(dá)到多晶硅生產(chǎn)節(jié)能降耗的目標(biāo)。尾氣回收裝置中工藝氣體經(jīng)過(guò)冷卻-冷凝-加壓-冷卻-冷凝-吸收-解吸-吸附等過(guò)程達(dá)到各組分分離的目的,由于物料反復(fù)冷凝,此工序需要消耗大量的冷量,裝置能耗較高。因此合理設(shè)計(jì)本裝置的換熱網(wǎng)絡(luò)不斷能夠減少冷量的消耗,還可以回收熱量,減少蒸汽用量,對(duì)裝置的節(jié)能具有明顯效果。
3.6冷氫化節(jié)能
冷氫化裝置是多晶硅生產(chǎn)的核心裝置之一。相對(duì)于傳統(tǒng)TCS合成工藝而言,冷氫化技術(shù)在蒸汽的消耗量及電能的使用量方面都有大幅下降。近年冷氫化裝置單套生產(chǎn)規(guī)模由6萬(wàn)噸/年逐步擴(kuò)大至11萬(wàn)噸/年、15萬(wàn)噸/年、20萬(wàn)噸/年甚至25萬(wàn)噸/年,隨著裝置規(guī)模的不斷擴(kuò)大,裝置生產(chǎn)效率明顯提高,物料單耗大幅下降,能耗顯著降低。另外,通過(guò)工藝優(yōu)化,采用中壓蒸汽替代導(dǎo)熱油汽化STC以及加強(qiáng)反應(yīng)物料熱量回收等節(jié)能措施,使冷氫化裝置的電耗進(jìn)一步降低,近年通過(guò)系列工藝優(yōu)化后冷氫化裝置單位產(chǎn)品電耗比原工藝下降了大約32%。
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