論文類別:專家論文
作 者:佚名
所在地區(qū):多晶硅生產(chǎn)節(jié)能降耗研究
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摘 要:
3.2研發(fā)硅芯熱啟動(dòng)技術(shù)
現(xiàn)階段的硅芯熱啟動(dòng)技術(shù)分為等離子預(yù)熱啟動(dòng)和采用硅芯摻雜工藝兩種。硅芯熱啟動(dòng)技術(shù)普遍被用于節(jié)能減排降耗,在節(jié)能方面發(fā)揮了它獨(dú)特的作用。等離子預(yù)熱啟動(dòng)技術(shù)是通過降低擊穿電壓和溫度來實(shí)現(xiàn)目標(biāo),這個(gè)技術(shù)現(xiàn)在被普遍應(yīng)用;硅芯摻雜工藝制作硅芯時(shí),加入B、P等元素來減少硅芯的導(dǎo)電率以達(dá)到降低硅芯爐溫度和電壓的效果,減少流程中電流等的消耗,來達(dá)到降耗的目的。
3.3改進(jìn)電控系統(tǒng)
在TCS還原產(chǎn)過程中,需要耗費(fèi)大量的電能,該工序電能單耗占多晶硅生產(chǎn)整體電耗的65%以上,優(yōu)化電子控制系統(tǒng)可以大幅降低電耗。在生產(chǎn)中對(duì)多晶硅的電子控制系統(tǒng)進(jìn)行改進(jìn),可以節(jié)約電能,我們可以從改進(jìn)工藝條件和減少有害輻射物質(zhì)對(duì)我們所生產(chǎn)的產(chǎn)品的危害兩方面入手,根據(jù)反應(yīng)器壓力的實(shí)時(shí)變化和反應(yīng)的溫度變化的情況來調(diào)整和優(yōu)化,使電流和電壓的值處于最佳位置以達(dá)到不浪費(fèi)的目的。我們可以具體問題具體分析,設(shè)計(jì)專門的電子控制系統(tǒng)來控制和減少輻射物質(zhì)對(duì)我們所生產(chǎn)產(chǎn)品的危害,提高了產(chǎn)品的質(zhì)量并大大減少倒?fàn)t的次數(shù),能夠起到明顯的節(jié)能效果。
3.4對(duì)TCS提純過程進(jìn)行優(yōu)化
TCS提純主要是將多晶硅中的金屬與非金屬雜質(zhì)等物質(zhì)徹底清除,以及分離出混合氯硅烷中DCS和STC,得到高純度的TCS。因此在精餾過程會(huì)消耗大量的蒸汽。目前國內(nèi)精餾技術(shù)主要運(yùn)用差壓耦合精餾的方式節(jié)能。利用高壓塔塔頂氣作為低壓塔塔底再沸器熱源,在此過程中高壓塔塔頂氣冷凝,節(jié)省塔頂循環(huán)水消耗;低壓塔塔底再沸器不需額外提供熱源,節(jié)省蒸汽消耗,與傳統(tǒng)精餾工藝相比,采用差壓耦合精餾技術(shù)能夠節(jié)能45%以上。國內(nèi)少數(shù)企業(yè)在TCS提純嘗試采用新型分隔壁精餾塔技術(shù)提高分離效率,降低裝置能耗。分隔壁精餾塔是在精餾塔內(nèi)設(shè)置一到垂直隔板,精餾塔分為上段、下段、精餾進(jìn)料段和中間采出段。在分離三組分體系物料時(shí),只需要一臺(tái)精餾塔即可將三組分完全分離,與傳統(tǒng)精餾技術(shù)相比,節(jié)省了一臺(tái)精餾塔及其附屬設(shè)備,可節(jié)省投資30%以上,同時(shí)能耗比傳統(tǒng)精餾低50%以上。分隔壁精餾塔技術(shù)在TCS提純方面具有廣闊的前景。
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